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                            當前位置:首頁  >  產品中心  >    >  CMP 晶圓減薄拋光  >  7AF-HMG SiC研磨機

                            7AF-HMG SiC研磨機

                            簡要描述:7AF-HMG研磨機具有實時過程監控及雙探頭監測功能,研磨SiC會產生熱量,從而導致研磨機熱膨脹,使用單個探針,研磨的前幾塊晶圓的厚度讀數將不準確,通常會導致研磨不足,使用雙探針可防止研磨不足,一個探針參考晶圓,另一個探針則參考工作卡盤,這消除了優于熱膨脹引起的誤差

                            • 產品型號:
                            • 廠商性質:代理商
                            • 產品資料:
                            • 更新時間:2024-03-19
                            • 訪  問  量: 774

                            產品分類

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                            7AF-HMG研磨機特點:

                            雙探頭檢測:

                            研磨SiC會產生熱量,從而導致研磨機熱膨脹,使用單個探針,研磨的前幾塊晶圓的厚度讀數將不準確,通常會導致研磨不足,使用雙探針可防止研磨不足,一個探針參考晶圓,另一個探針則參考工作卡盤,這消除了優于熱膨脹引起的誤差


                            實時過程監控:


                            應用:

                            基質研磨

                            ·在晶圓制造過程的早期發生,

                            ·用線鋸或K-cut切割

                            ·漿料去除通常在10微米

                            ·后續晶圓制造操作為表面

                            ·用6EZ拋光


                            背面研磨

                            ·在晶圓的一側制造器件后發生

                            ·起始面通常具有較低的TTV

                            ·漿料去除通常在100微米

                            其他應用程序

                            ·線鋸基材的背面減薄和整體減薄









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